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發(fā)布時(shí)間：2022-11-23

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半導(dǎo)體生產(chǎn)制造按照其制造技術(shù)大致可以分為：集成電路器件、分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器等大類(lèi)，如若細(xì)分還會(huì)有更多的分類(lèi)方式。半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求很?chē)?yán)，其涉及數(shù)百個(gè)制造工序，由于其生產(chǎn)技術(shù)的特殊性，為了產(chǎn)品的質(zhì)量及使用壽命，對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所的環(huán)境，如溫度、濕度，壓力、通排風(fēng)量、潔凈度等都有嚴(yán)格要求。

半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間

一般在達(dá)到百級(jí)的半導(dǎo)體潔凈室平面裝修方案中，設(shè)計(jì)師會(huì)依然會(huì)和千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等潔凈標(biāo)準(zhǔn)一樣依據(jù)人流和物流凈化流向來(lái)做精確的布局和配套系統(tǒng)設(shè)計(jì)：

工作人員的凈化路線為：

　　入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風(fēng)淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。

物品的凈化路線為:

　　入口→原料庫(kù)→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫(kù)。

按照兩種凈化路線，分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機(jī)房、超純水處理站可以安排在同一層，使?jié)崈艨諝狻⒓儍羲ㄟ^(guò)技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機(jī)房、配電室、防排煙機(jī)房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求設(shè)置布局。

在配套系統(tǒng)技術(shù)層面，以暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局來(lái)說(shuō)，分區(qū)也要以下列內(nèi)容為參照依據(jù)：

　　 1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

　　2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。

　　3、有條件時(shí)可將4級(jí)、5級(jí)單向流和6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。

　　5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。

　　7、混合后會(huì)產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類(lèi)房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。

　　半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間的建設(shè)涉及的專(zhuān)業(yè)內(nèi)容很多，譬如在各種生產(chǎn)和封裝過(guò)程中建立起靜電防護(hù)系統(tǒng)也很有必要，像IC封裝生產(chǎn)線對(duì)靜電的更為嚴(yán)格。為了保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)行，合景凈化工程公司這類(lèi)潔凈廠房集成服務(wù)商還會(huì)對(duì)其建設(shè)的潔凈廠房進(jìn)行防靜電建設(shè)，當(dāng)中也會(huì)涉及很多專(zhuān)用材料的篩選、結(jié)構(gòu)維護(hù)工程、暖通工程、特種氣體工程、空壓氣體工程、廢氣工程、電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺(tái)、純水工程及廢水處理工程這些配套系統(tǒng)，如何讓這些系統(tǒng)更好的服務(wù)于每個(gè)車(chē)間，以達(dá)到半導(dǎo)體廠房整體既滿(mǎn)足工藝和產(chǎn)能需求，還盡可能地實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排要求，可以多借鑒合景凈化工程公司的建設(shè)經(jīng)驗(yàn)。

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